概要                                                                                                                                                                                                

测量时间最大缩短25%*2，用超声波高精度、高速检查半导体和电子零件。

FineSAT V
(照片装备了选项)

提供“FineSAT系列”，作为利用超声波的反射、透射特性，将半导体、电子元件内部的细微结构和缺陷进行非破坏性检测、图像化的装置。
为了应对近年来的需求高度化，我们强化了传统机器“FineSAT III”的功能，开发了可以进行更高精度、高速测量和检查的“FineSAT V”。
“FineSAT V”是将独自开发的数据处理软件和为了高速处理大量数据而新采用的64bit处理系统与高速、高精度扫描仪相结合，从而缩短了检查、分析时间。

特长                                                                                                                                                                                               

采用提高解析功能的64bit处理系统。

标准规格最多可以保存和处理4亿点，可选规格*1最多可以保存和处理20亿点超声波的测量数据。因此，FineSAT III将直径200mm(8英寸)的晶圆1次测量成像时，最小测量间距为40µm，但FineSAT V标准规格为20µm，可选规格的场合。因为合可以用10 µm以下的微小间距获取数据并进行图像化，所以用大样品进行详细测量，1次扫描就可以实现了。另外，支持高精度分析、评价的多种图像显示。

扫描仪的最大扫描速度提高到2000mm/s，缩短检查时间。

在晶圆等大样品的测量中，扫描仪的扫描速度对测量时间有很大影响。FineSAT V除了采用高速扫描仪外，还将超声波脉冲的发生周期设置为1/2，从而缩短25%*2的测量时间。除了加减速时以外，扫描仪的最大扫描速度提高到2000mm/s*3，通过新设计的高刚性框架抑制装置的振动，所以高速扫描也能获得清晰的图像。

考虑到设置场所和作业性的装备。

1.考虑到在洁净室使用，扫描仪的门采用了弹跳方式，同时准备了制电型的透明面板作为门选项，提高了防尘性。

2.样品设置和维护时，为了能够顺利拆卸舞台框架，前面的下部窗户可以旋转到180°以下全开。

3.主体操作部采用制电面板，抑制操作员静电的影响。

4.只需打开主机电源，就可以进行升降操作。无需启动FineSAT软件即可运行。

5.标配了手边的开关盒。一直以来，在移动扫描仪内的探头时，用鼠标操作显示器画面上的按钮或操作键盘，使探针和显示器或键盘交替移动视线。使用手边的开关盒的话，可以不放开视线，微调探针位置。

6.将显示器屏幕尺寸设置为23英寸，大幅提高数据分析等的可视性和工作性。
7.可以选择双显示器。

• *1

• GUIPC是可选的情况。

• *2

• 与本公司传统机型相比，根据条件而变化。

• *3

• 根据测量条件，最大扫描速度可能会受到限制。

功能                                                                                                                                                                                              

采用64bit处理系统，大幅强化了解析功能。

■ 高分辨率波形显示

因为超声波的测量时间单位可以设定为比以往的1/4，所以深度方向的分辨率增加了4倍。检测微细、多层化电子设备的薄层内缺陷和层间剥离，提高深度位置信息的精度。

■ 多焦点

通过连续改变焦点位置进行扫描的功能，通过一次测量可以获得聚焦于不同多个深度的图像，防止缺陷被忽视。

■ 多门缩略图显示

用多门测量的多个不同信息的图像，可以生成缩略图，显示容易选择的一览。
缩略图可以单独变更调色板。

■ 叠加显示(反射图像/透射图像的叠加)

反射法/透过法同时测量时获得的2个图像可以叠加显示。另外，显示图像可以调整透明度比例，所以可以设置为容易判断的图像。

■ 可选备图像锐化、音量图像、空隙查看器等软件。

补充超声波信号的劣化，使图像更清晰的图像鲜锐化软件，测量收录的波形数据后可以分析为测量图像和波形的音量图像软件，从虚空(缺陷)显示进行良否判定、统计处理的空洞视图。可以和FTO等高级解析软件组合。

■ 跟随扫描功能

(mp4格式)

适用于不平坦的翘曲的晶圆和有膨胀的被检体的扫描方法。
可以跟随被检体的表面进行扫描。

规格                                                                                                                                                                                            

• *

• 关于特殊规格请咨询。

• 本产品的超声波输出功率在5W以下，所以不需要安装申报等。

• 也准备了英语语言版的软件。

尺寸图 (标准规格)                                                                                                                                                                        

(单位:mm)